近日，鸿富资产旗下基金宁波甬元鸿德股权投资合伙企业（有限合伙）完成了对国产商业化光刻设备企业芯东来半导体的数千万元领投，本轮企业合计融资近亿元。
本轮投资资金将重点用于公司成熟制程前道光刻设备的研发和生产，加速突破前道成熟制程光刻设备商业化空白，为我国半导体晶圆厂、先进封装厂和面板制造厂提供可控、可靠、稳定的商业化光刻设备。
i线、g线和Krf等成熟制程光刻设备广泛用于面板制造、MEMS芯片、射频芯片、功率芯片、化合物半导体、先进封装等领域，也在14nm以下先进制程中应用占比超过50%，具有广阔的市场前景。
公司团队来自全球光刻设备一线大厂，平均具有超过15年光刻行业经验，提供从1um到65nm光刻设备技术解决方案，可同时支持Cannon、Nikon和ASML多种型号光刻设备的翻新再制造和服务。
公司预计将于2026年初推出适应6/8/12英寸的成熟制程光刻机，支持MEMS芯片制造、射频和功率芯片生产等，客户下单交付周期可缩短至12个月内，极大缩短国产晶圆厂产线扩产所需时间。
公司有望成为首个商业化交付国产晶圆前道生产光刻设备的半导体企业，在该领域公司起步晚，但团队经验丰富，发展速度远胜于同行，创立3年光刻设备相关收入已突破亿元，为客户解决十数台光刻设备的翻新再制造需求。